三氟化氮NF3
三氟化氮(nitrogen trifluoride),是一种无机化合物,化学式NF3,常温常压下为无色气体,不溶于水,是一种强氧化剂,是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,还可用作高能燃料。
CAS 编号
7783-54-2
UN 编号
2451
EINECS 编号
7783-54-2
分子量
71.0019
外观
无色、无味
熔点
-206.79℃
沸点
-129.0℃
密度
2.96kg/m3
DOT 类
2.2 & 5.1
标签
不可燃气体、氧化剂
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包装规格


钢瓶规格

含量

钢瓶容量

阀门

重量

10L

DISS640

4kg

47L

DISS640

20kg

440L

DISS640

195kg



电子级三氟化氮99.99%


规格

99.99%

四氟化碳

≤40 ppm

氮气

≤10 ppm

氧气+氩气

≤5 ppm

一氧化碳

≤1 ppm

二氧化碳

≤3 ppm

一氧化二氮

≤3 ppm

六氟化硫

≤3 ppm

水分

≤1 ppm

氟化氢

≤1 ppm

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服务电话
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