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四氟化碳CF4
四氟化碳，又名四氟甲烷，化学式为CF4，它既可以被视为一种卤代烃（有机物），也可以被视为一种无机化合物，常温常压下为无色气体，不溶于水，溶于苯和氯仿，主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
CAS 编号
75-73-0
UN 编号
1982
EINECS 编号
200-896-5
分子量
88.004
熔点
-184 ℃
沸点
-130 ℃
DOT 类
2.2
外观
无色无味
标签
不易燃气体
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包装规格
钢瓶规格 | 含量 | |
钢瓶容量 | 阀门 | 重量 |
47L | CGA580 | 30 kg |
电子级四氟化碳99.999%
规格 | 99.999% |
氧气+氩气 | ≤ 1 ppm |
氮气 | ≤ 2 ppm |
氢气 | ≤ 0.3 ppm |
一氧化碳 | ≤ 0.3 ppm |
二氧化碳 | ≤ 0.3 ppm |
六氟化硫 | ≤ 0.3 ppm |
四氢大麻酚 | ≤ 0.3 ppm |
三氟甲烷 | ≤ 0.3 ppm |
OFC | ≤ 1 ppm |
水分 | ≤ 1 ppm |
氟化氢 | ≤ 0.1 ppm |
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